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硬質(zhì)氧化是在低溫下得到的，生成的膜層較厚，一般有40-60um,在氧化過(guò)程中，有大量的熱量產(chǎn)生和氣體放出，氧化膜內(nèi)部生成大量的應(yīng)力，氧化膜體積膨脹，應(yīng)力釋放，從而表面形成裂紋，越厚的膜層越容易出現(xiàn)這種現(xiàn)象，一般不視為一種不良現(xiàn)象。
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